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>溫控晶圓夾盤
HCC602 冷熱夾盤
HCC602溫控晶圓夾盤支持 -190℃ ~ 600℃範圍的樣品溫控,並且溫度均勻性好。主機設計小巧,可以集成到光學顯微鏡,紅外,拉曼光譜儀等設備,進行溫控的同時支持光學觀察,也可集成到探針臺上,進行電學測試。 結構緊湊,可集成到晶圓探針臺上,設計用於探針測試 可編程控溫,涵蓋不同溫度段(具體由型號而定) 適用不同尺寸晶圓的真空吸附槽設計 可降溫到 80K 可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
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圓形溫控晶圓夾盤系列
Instec的圓形溫控晶圓夾盤系統是為晶圓和半導體測試設計的。根據客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號供選。並有檯面電接地/電懸空,還有同軸/三同軸介面的細節差異。 溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低,並且厚度設計的很薄,可以集成進探針台。並且台體設有真空吸氣槽,可以利用負壓來吸附樣品。
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方形溫控晶圓夾盤系列
Instec的方形溫控晶圓夾盤系統是為晶圓和半導體測試設計的。根據客戶的需求有不同尺寸、不同溫度段的型號供選。並有檯面電接地/電懸空,還有同軸/三同軸介面的細節差異。 溫控晶圓夾盤的檯面溫度梯度很低,並且厚度設計的很薄,可以集成進探針台。並且台體設有真空吸氣槽,可以利用負壓來吸附樣品。
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HCC602 溫控晶圓夾盤
支持600℃的樣品溫控
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TC系列溫控晶圓夾盤
TC系列溫控晶圓夾盤是基於半導體(帕爾貼)溫控的經濟型溫控晶圓夾盤。 相比傳統的電熱絲加熱方式,帕爾貼方式的溫控更准,使用方便,並且在樣品區不大時低成减少。
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