HCC602 溫控晶圓夾盤-作品详情

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支持600℃的樣品溫控

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產品簡介

可編程精密控溫。可獨立控制，也可從可以直接發出操控命令的電腦的軟件控制

小尺寸型號

可做改動或定制，詳詢大奖ptpt9

功能特點

加熱塊材質	銀質
晶圓真空吸附	獨立真空吸附通道可定制真空吸附孔
底殼制冷	可選制冷系統
安裝	可集成進探針臺可定制安裝支架
臺面電位	接地
溫度控制	可編程精密PID溫控需mK2000溫控器可選LVDC（變直流）式低噪PID溫控
溫度傳感器	100Ω鉑質RTD
溫度分辨率	0.01℃
溫度穩定性	±0.05℃（>25℃）；±0.1℃（＜25℃）
電源規格	通用電源輸入
軟件	WinTemp (溫控+記錄溫度曲線)

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Shanghai Hengshang Precision Instruments Co., Ltd

电话：+86 021-62412881 62412871

邮箱：sales@tmawebsolutions.com/support@tmawebsolutions.com

传真：+86 021-62412871转810

地址：上海市徐匯區漕寶路400號1603-1604室

Address：Suite 1603-1604, No.400, Caobao Rd., Xuhui Dist., Shanghai 200233, China

台湾办事处: 恒商精密儀器有限公司楊舒凱

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TEL: 886-920617611

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